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国家高技术研究发展计划(2005AA404020)
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焦继伟
姜涛
张颖
王安麟
吴艳红
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焦继伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
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张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
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李莉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SN 等温凝固 晶圆级封装 气密封装 凝固技术
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吴艳红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SN 晶圆级封装 气密封装 凝固技术 等温凝固
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姜涛
供职机构:同济大学机械与能源工程学院
研究主题:微机械陀螺 弹性梁 相移 陀螺 元胞自动机
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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王立春
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:气密封装 微机械 凸点 料封 微机械传感器
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王安麟
供职机构:同济大学机械与能源工程学院
研究主题:液力变矩器 微机械陀螺 遗传算法 工程机械 自组织
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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