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国际科技合作与交流专项项目(2011DFA70980)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：郭玉龙郭丹潘国顺雒建斌更多>>
相关机构：清华大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 4个电子电信
  • 3个化学工程
  • 3个矿业工程
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个电气工程
  • 3个自动化与计算...
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
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  • 2个交通运输工程
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  • 2个文化科学
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
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  • 1个水利工程
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个医药卫生

主题

  • 4个低K介质
  • 4个低介电常数
  • 4个电路
  • 4个电路芯片
  • 4个电路制造
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 3个电池
  • 3个电极
  • 3个电子制造
  • 3个动力学
  • 3个动力学模拟
  • 2个单晶硅片
  • 2个氮化
  • 2个氮化钛
  • 2个弹流
  • 2个弹流润滑
  • 2个低摩擦系数
  • 2个定域性
  • 1个大型汽轮发电...

机构

  • 4个清华大学
  • 2个清华大学研究...
  • 1个复旦大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个西安冶金建筑...
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国矿业大学
  • 1个香港城市大学
  • 1个国家自然科学...
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个青华大学

资助

  • 4个国家重点基础...
  • 4个国家自然科学...
  • 4个国际科技合作...
  • 3个创新研究群体...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个教育部跨世纪...
  • 2个山东省自然科...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个中国博士后科...
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  • 2个国家重点实验...
  • 2个清华大学自主...
  • 2个上海市科委科...
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  • 1个广东省自然科...
  • 1个江苏省自然科...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个教育部重点实...
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  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 4个电子元件与材...
  • 3个机械工程学报
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  • 3个摩擦学学报（...
  • 3个中国表面工程
  • 3个数字制造科学
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  • 2个科学通报
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  • 1个汽轮机技术
  • 1个振动工程学报

地区

  • 4个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
郭丹
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 原子力显微镜 扭转振动 轴承
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭玉龙
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 布线 布线结构 集成电路芯片 线速度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
潘国顺
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雒建斌
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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