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国家自然科学基金(60940035)
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刘国强
周崇喜
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孙国斌
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孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
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刘国强
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:干涉光刻
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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周崇喜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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