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光电技术及系统教育部重点实验室访问学者基金(2013MS04)
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周斌
高杨
何移
李君儒
何婉婧
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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何移
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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高杨
供职机构:重庆大学
研究主题:微电子机械系统 薄膜体声波谐振器 体声波 MEMS FBAR
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李君儒
供职机构:重庆大学
研究主题:FBAR 薄膜体声波谐振器 膜片 微加速度计 温度稳定性
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周斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 流量传感器 微电子机械系统 有限元分析
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何婉婧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:薄膜体声波谐振器 FBAR 膜片 微加速度计 温度稳定性
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