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国家自然科学基金(60125512)

作品数：2 被引量：0H指数：0
相关作者：冯吉军王博周常河茹华一更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
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领域

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主题

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资助

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地区

  • 4个上海市
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周常河
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹华一
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波长 光栅 纳米 偏振 感应耦合等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王博
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：刻蚀深度 电子束直写 光学全息 纳米 石英
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯吉军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：刻蚀深度 透射 光栅 熔融石英 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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