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国家自然科学基金(90206022)
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雒建斌
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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荆阳
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:MOS 微致动器 硬盘驱动器 特性分析 元件
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张朝辉
供职机构:北京交通大学机械与电子控制工程学院
研究主题:化学机械抛光 薄膜润滑 水基润滑液 摩擦学 水溶液
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庞思勤
供职机构:北京理工大学
研究主题:刀具 硬质合金 硬质合金刀具 STEWART平台 高温合金
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温诗铸
供职机构:清华大学
研究主题:润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
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张力
供职机构:清华大学
研究主题:PMN-PZT 压电厚膜 格子BOLTZMANN方法 渐近分析 微致动器
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马俊杰
供职机构:清华大学
研究主题:无线传感网络 化学机械抛光 能效 滑道 微粒群
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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张晨辉
供职机构:清华大学
研究主题:超高真空 换热器 水基润滑液 防锈剂 氦气
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黄朋生
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:压电薄膜 MEMS 微电极阵列 PZT 压电加速度传感器
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