您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(G1999033101)

作品数：30 被引量：143H指数：7
相关作者：王跃林熊斌车录锋焦继伟黄小振更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院上海冶金研究所浙江大学更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术电子电信更多>>

领域

  • 31个自动化与计算...
  • 25个电子电信
  • 24个机械工程
  • 19个理学
  • 17个一般工业技术
  • 14个航空宇航科学...
  • 13个电气工程
  • 11个金属学及工艺
  • 11个文化科学
  • 8个化学工程
  • 8个交通运输工程
  • 8个医药卫生
  • 5个经济管理
  • 5个建筑科学
  • 4个天文地球
  • 3个生物学
  • 3个自然科学总论
  • 2个石油与天然气...
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个农业科学

主题

  • 30个微机械
  • 29个传感
  • 28个感器
  • 28个传感器
  • 24个刻蚀
  • 22个灵敏度
  • 22个敏度
  • 22个加速度
  • 21个离子刻蚀
  • 20个速度传感器
  • 19个微电子
  • 19个加速度传感器
  • 18个电路
  • 18个微电子机械
  • 18个微电子机械系...
  • 17个悬臂
  • 16个电极
  • 16个电容
  • 15个悬臂梁
  • 12个单晶

机构

  • 23个中国科学院
  • 14个中国科学院上...
  • 11个浙江大学
  • 7个复旦大学
  • 4个中国科学院研...
  • 3个华东师范大学
  • 2个哈尔滨工业大...
  • 2个杭州电子科技...
  • 2个上海交通大学
  • 2个教育部
  • 2个中科院上海微...
  • 2个沈阳仪器仪表...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个吉林大学
  • 1个杭州电子工业...
  • 1个常州大学
  • 1个苏州大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个江苏石油化工...
  • 1个东风汽车有限...

资助

  • 33个国家重点基础...
  • 20个国家自然科学...
  • 16个国家高技术研...
  • 6个上海市科学技...
  • 6个浙江省自然科...
  • 6个国家科技重大...
  • 5个国家杰出青年...
  • 5个国家教育部博...
  • 5个上海市科学技...
  • 4个上海市科委纳...
  • 4个浙江省教育厅...
  • 4个国家重点实验...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个“九五”国家...
  • 3个“上海－应用...
  • 3个中国科学院战...
  • 3个中国科学院重...
  • 2个国防科技技术...
  • 2个教育部“优秀...

传媒

  • 21个传感技术学报
  • 20个Journa...
  • 16个仪表技术与传...
  • 16个功能材料与器...
  • 15个传感器与微系...
  • 11个半导体技术
  • 11个机械强度
  • 11个微纳电子技术
  • 11个第八届敏感元...
  • 9个传感器技术
  • 8个光学精密工程
  • 8个机械工程学报
  • 8个中国机械工程
  • 8个第一届长三角...
  • 7个仪器仪表学报
  • 7个光学学报
  • 6个工程设计学报
  • 6个电子与信息学...
  • 6个电子学报
  • 6个高技术通讯

地区

  • 25个上海市
  • 6个浙江省
  • 1个四川省
  • 1个广东省
共 33 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车录锋
供职机构：浙江大学
研究主题：弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄小振
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 接口电路 PSPICE软件 固有频率 自激
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构：中国科学院广州能源研究所
研究主题：微机械 硅 基片 热电转换效率 片状
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董林玺
供职机构：杭州电子科技大学
研究主题：锚点 传感器 电极 硅纳米线 振子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：灵敏度 微压传感器 盆腔 压力传感器 微机械传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共4页<1234>
聚类工具0