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上海市科委纳米专项基金(0452nm049)
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姚锦元
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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王裕超
供职机构:上海交通大学
研究主题:碳纳米管 电接触 碳纳米纤维 金刚石薄膜 复合电镀层
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汪红
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研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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吴惠箐
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研究主题:碳纳米管 复合电沉积 金属基复合材料 复合电镀 碳纳米管复合
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姚锦元
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研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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钟敏建
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研究主题:机械合金化 飞秒激光 纳米晶 飞秒激光诱导 磁记录介质
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张建华
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马洪良
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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