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中国科学院科研装备研制项目(Y3YZ028001)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：董亚斌夏洋李超波卢维尔李楠更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：化学工程更多>>

领域

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主题

  • 5个电场
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  • 5个位阻效应
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  • 3个电流
  • 3个淀积

机构

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  • 2个嘉兴科民电子...
  • 1个北京科技大学
  • 1个北京有色金属...
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学技术...
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  • 1个中国科学院嘉...

资助

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  • 1个辽宁省科技厅...

传媒

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地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
董亚斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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