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上海市自然科学基金(09ZR1437700)
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何大伟
张有为
程新红
徐大伟
俞跃辉
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程新红
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 功率器件 栅结构 击穿电压 石墨烯
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何大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI ESD保护器件 高介电常数 高压功率器件 栅极
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徐大伟
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 栅极 光刻胶 金属
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王中健
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 石墨烯 介质薄膜 离子注入 漂移
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俞跃辉
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 石墨烯 功率器件 金属
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夏超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 介质薄膜 金属 离子注入 漂移
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张有为
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 原子层沉积 AL2O3薄膜 AL 介质
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