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国家科技重大专项(2009ZX02201-003)
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2
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相关作者:
李艳秋
刘克
张芸
刘岩
刘丽辉
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相关机构:
北京理工大学
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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供职机构
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研究领域
刘克
供职机构:北京理工大学
研究主题:波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
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刘岩
供职机构:北京理工大学
研究主题:投影光刻物镜 数值孔径 投影物镜 光学设计 光刻物镜
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所获资助
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刘丽辉
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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供职机构
所获资助
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张芸
供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题:波像差 光刻物镜 投影物镜 深紫外 有限元法
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