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国家科技重大专项(2009ZX02201-003)

作品数：2 被引量：8H指数：1
相关作者：李艳秋刘克张芸刘岩刘丽辉更多>>
相关机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
相关领域：理学机械工程一般工业技术更多>>

领域

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资助

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地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘岩
供职机构：北京理工大学
研究主题：投影光刻物镜 数值孔径 投影物镜 光学设计 光刻物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘丽辉
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张芸
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：波像差 光刻物镜 投影物镜 深紫外 有限元法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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