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北京市科技计划项目(D0405001040431)
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李洪宾
江轩
王欣平
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李洪宾
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:微观结构 沉积速率 溅射沉积 EBSD 靶材
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江轩
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:溅射靶材 贵金属 带材 靶材 集成电路
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王欣平
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:溅射靶材 时效强化 铜合金 高纯 显微组织
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