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国家高技术研究发展计划(2009AA03Z341)

作品数：6 被引量：9H指数：1
相关作者：胡松唐小萍朱江平唐燕周绍林更多>>
相关机构：中国科学院中国科学院研究生院电子科技大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 18个自动化与计算...
  • 16个电子电信
  • 15个机械工程
  • 15个理学
  • 11个一般工业技术
  • 8个文化科学
  • 7个电气工程
  • 6个生物学
  • 6个医药卫生
  • 5个经济管理
  • 4个金属学及工艺
  • 4个轻工技术与工...
  • 3个动力工程及工...
  • 3个核科学技术
  • 3个农业科学
  • 3个自然科学总论
  • 2个天文地球
  • 2个化学工程
  • 2个交通运输工程
  • 1个矿业工程

主题

  • 18个光刻
  • 17个掩模
  • 17个光栅
  • 16个条纹
  • 16个投影光刻
  • 15个衍射
  • 15个图像
  • 14个无掩模
  • 12个电机
  • 12个信号
  • 11个调焦
  • 11个双光栅
  • 10个电路
  • 10个叠栅条纹
  • 10个数字微镜
  • 7个单幅
  • 7个电路控制
  • 6个大行程
  • 5个导数
  • 5个等效

机构

  • 18个中国科学院
  • 12个中国科学院研...
  • 3个电子科技大学
  • 3个中国科学院大...
  • 2个四川大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个教育部
  • 1个天津大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个西南科技大学
  • 1个中国矿业大学...
  • 1个京东方科技集...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个西藏自治区气...
  • 1个晋城煤业集团

资助

  • 18个国家高技术研...
  • 18个国家自然科学...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个成都市科技攻...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个中国科学院西...
  • 3个中央高校基本...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个四川省科技支...
  • 2个博士科研启动...
  • 2个创新研究群体...
  • 2个国家自然科学...
  • 2个教育部“新世...
  • 2个四川省杰出青...
  • 2个中国科学院“...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个四川省教育厅...

传媒

  • 12个光学学报
  • 12个微纳电子技术
  • 11个中国激光
  • 9个光电工程
  • 6个激光与光电子...
  • 6个电子工业专用...
  • 5个光子学报
  • 5个四川大学学报...
  • 5个微细加工技术
  • 4个电子技术应用
  • 4个计算机应用
  • 3个现代科学仪器
  • 3个红外与激光工...
  • 3个光谱学与光谱...
  • 3个压电与声光
  • 3个现代电子技术
  • 2个中国仪器仪表
  • 2个半导体技术
  • 2个物理学报
  • 2个制造技术与机...

地区

  • 15个四川省
  • 1个江苏省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
共 18 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐小萍
供职机构：西藏自治区气候中心
研究主题：生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐燕
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：调制度 三维形貌 成像 相移 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱江平
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：莫尔条纹 叠栅条纹 数字微镜 工件台 无掩模光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛壮
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 图像探测器 条纹 工件台 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐路路
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：无掩模光刻 成像器件 光刻物镜 莫尔条纹 相移
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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