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国家高技术研究发展计划(2007AA048315-1)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：宋朝辉鲍海飞陆德仁刘民李昕欣更多>>
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共 6 条 记 录，以下是 1-6
张鲲
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘民
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 测试装置 接口电路 锁相环 悬臂梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋朝辉
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：加速度计 高量程加速度传感器 量程 加速度传感器 测试装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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