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国家自然科学基金(69806007)

作品数：16 被引量：57H指数：5
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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  • 3个物理
  • 3个中国机械工程
  • 3个传感技术学报

地区

  • 15个北京市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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任天令
供职机构：清华大学
研究主题：铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张林涛
供职机构：清华大学
研究主题：铁电薄膜 微麦克风 PZT 铁电 扬声器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张武全
供职机构：清华大学
研究主题：铁电存储器 铁电 铁电电容 PZT SOL-GEL法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵宏锦
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘燕翔
供职机构：清华大学
研究主题：射频滤波器 锆钛酸铅 体声波 射频 PZT薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘建设
供职机构：清华大学
研究主题：超导 量子计算 超导量子比特 超导转变 放大器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丛鹏
供职机构：清华大学
研究主题：射频 硅表面 滤波器 微电子机械系统 体声波滤波器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春晓
供职机构：中国医学科学院北京协和医学院
研究主题：阴道环 铁电存储器 孕二烯酮 铁电电容 缓控释
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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