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国家自然科学基金(60676042)

作品数：2 被引量：1H指数：1
相关作者：陈治宇王颖李婷张锦文金玉丰更多>>
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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕知秋
供职机构：北京大学
研究主题：SI PECVD 驻极体 双层膜 MEMS开关
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦文
供职机构：北京大学
研究主题：驻极体 金刚石 放射性同位素 电学隔离 碳纳米管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金玉丰
供职机构：北京大学
研究主题：通孔 键合 硅 MEMS 芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈治宇
供职机构：北京大学
研究主题：驻极体 发电机 硅衬底 硅表面 集成电路工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
供职机构：北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：共晶键合 微电子 自对准 金 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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