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国家自然科学基金(51102048)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：谢章熠谢立恒耿阳孙清清张卫更多>>
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地区

  • 6个上海市
  • 1个贵州省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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孙清清
供职机构：复旦大学
研究主题：电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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谢章熠
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 氧化锌 微电子领域 铜互连 薄膜生长
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周鹏
供职机构：贵州大学
研究主题：存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢立恒
供职机构：复旦大学
研究主题：电镀铜 原子层淀积 铜互连 半导体集成电路 磺酸钠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红亮
供职机构：复旦大学
研究主题：铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
耿阳
供职机构：复旦大学
研究主题：薄膜生长 技术应用 太阳电池 原子层淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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