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国家自然科学基金(11079035)
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彭忠琦
卢启鹏
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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彭忠琦
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 超高真空 近红外 单色器 EUV
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卢启鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:近红外光谱 近红外 光学元件 超高真空 单色器
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龚学鹏
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:三维曲面 机械工程领域 光学元件 多点成形 数值模拟
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高飒飒
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:面形误差 X射线 干涉光刻 面形 超高真空
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宋源
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 反射镜 EUV 夹持 应力
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王依
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 EUV 反射镜 清洗方法 超高真空
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马磊
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题:单色器 平面光栅 误差分析 转角精度 棱镜
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