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浙江省自然科学基金(Y1100707)

作品数：3 被引量：3H指数：1
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机构

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地区

  • 3个浙江省
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蒋恒
供职机构：浙江工业大学
研究主题：阳极键合 杨氏模量 压阻式加速度传感器 SUB 离子污染
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董健
供职机构：浙江工业大学
研究主题：阳极键合 硅表面 自由能 杨氏模量 接触角
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙笠
供职机构：浙江工业大学
研究主题：阳极键合 纳米压痕 杨氏模量 硅表面 离子污染
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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