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国家教育部博士点基金(20104420110002)

作品数：10 被引量：36H指数：4
相关作者：魏昕谢小柱杨向东胡伟邹微波更多>>
相关机构：广东工业大学更多>>
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相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术更多>>

领域

  • 9个金属学及工艺
  • 6个机械工程
  • 6个自动化与计算...
  • 4个一般工业技术
  • 4个文化科学
  • 3个化学工程
  • 3个动力工程及工...
  • 3个电子电信
  • 3个轻工技术与工...
  • 3个医药卫生
  • 3个理学
  • 2个电气工程
  • 2个交通运输工程
  • 1个经济管理
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个建筑科学
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术

主题

  • 9个化学机械抛光
  • 9个机械抛光
  • 9个CMP
  • 8个抛光
  • 7个抛光垫
  • 7个抛光液
  • 7个沟槽
  • 7个超薄
  • 6个材料去除率
  • 4个弹簧
  • 3个单片
  • 3个单片机
  • 3个刀具
  • 3个点集
  • 3个电流
  • 3个电流信号
  • 3个电路
  • 3个电路板
  • 3个电偶
  • 3个对比度

机构

  • 9个广东工业大学
  • 2个华南理工大学
  • 1个湖南大学
  • 1个四川大学

资助

  • 9个广东省自然科...
  • 9个国家自然科学...
  • 9个国家教育部博...
  • 6个广东省科技计...
  • 3个广东省教育厅...
  • 3个广东省科技攻...
  • 3个教育部留学回...
  • 3个广州市科技计...
  • 3个博士科研启动...
  • 3个国家重大工程...
  • 3个江苏省精密与...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家留学基金
  • 1个湖南省自然科...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个四川省科技支...
  • 1个深圳市科技计...
  • 1个广东省粤港关...
  • 1个粉末冶金国家...
  • 1个广东省科委攻...

传媒

  • 7个金刚石与磨料...
  • 6个机械设计与制...
  • 5个制造技术与机...
  • 5个组合机床与自...
  • 4个机床与液压
  • 4个润滑与密封
  • 4个机电工程技术
  • 3个机械工程师
  • 3个农业机械学报
  • 3个低温与超导
  • 3个激光与光电子...
  • 3个中国激光
  • 3个应用激光
  • 3个工具技术
  • 3个激光技术
  • 3个计算机仿真
  • 3个光电工程
  • 3个广东工业大学...
  • 3个传感技术学报
  • 3个压电与声光

地区

  • 9个广东省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
魏昕
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：激光 激光技术 化学机械抛光 微热管 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢小柱
供职机构：广东工业大学
研究主题：激光 微热管 激光技术 激光加工 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨向东
供职机构：广东工业大学
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 沟槽 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡伟
供职机构：广东工业大学
研究主题：激光 微热管 蓝宝石 激光技术 平板热管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁文强
供职机构：广东工业大学
研究主题：重力式 工件 化学机械抛光 抛光 真空吸盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邹微波
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
方照蕊
供职机构：广东工业大学机电工程学院
研究主题：化学机械抛光 材料去除率 CMP 抛光液 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑海凤
供职机构：广东工业大学
研究主题：化学机械抛光 温度检测 超薄 CMP 在线检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟静
供职机构：广东工业大学
研究主题：液膜厚度 CMP 化学机械抛光 工件 重力式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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