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上海市浦江人才计划项目(09PJ1406200)
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李以贵
杨春生
刘景全
陈少军
杉山进
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李以贵
供职机构:上海应用技术学院理学院
研究主题:微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
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陈少军
供职机构:上海交通大学
研究主题:高深宽比 正交试验 参数优化 SI 干法刻蚀
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杨春生
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 MEMS 微机电系统 压电 植入
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所获资助
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刘景全
供职机构:上海交通大学
研究主题:电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
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杉山进
供职机构:日本立命馆大学
研究主题:高深宽比 聚甲基丙烯酸甲酯 PZT 锆钛酸铅 X光
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张俊峰
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:声表面波 叉指换能器 液滴 英文 铜
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张冠
供职机构:上海交通大学
研究主题:声表面波 雾化器 微驱动器 陀螺仪 声表面波器件
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高阳
供职机构:上海交通大学
研究主题:声表面波 奥氏体不锈钢 含铝 超临界 微机电系统技术
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马华安
供职机构:上海交通大学
研究主题:压电 低频振动 宽频 振动 磁致伸缩效应
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唐刚
供职机构:南昌工程学院
研究主题:压电 磁致伸缩 悬臂梁 阀体 微针
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