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国家高技术研究发展计划(2007AA4Z318)

作品数：4 被引量：35H指数：3
相关作者：王军波陈德勇刘磊史晓晶李玉欣更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所中国科学院研究生院华北电力大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

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地区

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共 11 条 记 录，以下是 1-10
王军波
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 地震检波器 谐振式 电极 谐振式压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈德勇
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电化学 谐振梁 谐振式压力传感器 地震检波器 谐振式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
史晓晶
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 微机械 差分检测 MEMS 扩散硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李玉欣
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 谐振式 封装 金属管 谐振频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘磊
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 差分检测 MEMS 微机械 扩散硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李浩
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：产生器 废液 沟道 流控技术 趋化因子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦海龙
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：谐振式压力传感器 阳极键合 绝缘体上硅 微电子机械系统 差分检测
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘猛
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：封装 金属管 谐振频率 谐振梁 热应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毋正伟
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微型电场传感器 电极 差分检测 谐振式传感器 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵晋敏
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：同频干扰 扩散硅 谐振式压力传感器 检测电路 温度补偿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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