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国家自然科学基金(61205102)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：王向朝汪凯巍李思坤更多>>
相关机构：中国科学院大学浙江大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

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主题

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  • 1个单片机
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  • 1个单轴
  • 1个弹簧
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机构

  • 2个中国科学院上...
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  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 2个上海市自然科...
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  • 2个国际科技合作...
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  • 1个国家重点基础...
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  • 1个国家教育部博...
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传媒

  • 3个中国激光
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  • 2个光电子．激光
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  • 2个第十五届全国...
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  • 1个量子电子学报
  • 1个光学精密工程
  • 1个电子测量技术
  • 1个仪器仪表学报
  • 1个计量学报
  • 1个物理
  • 1个计算机应用

地区

  • 2个上海市
  • 1个浙江省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪凯巍
供职机构：浙江大学
研究主题：干涉仪 光栅 军事领域 微位移传感器 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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