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国家自然科学基金(69625710)

作品数：2 被引量：14H指数：2
相关作者：金春水曹健林王丽萍张立超更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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相关领域：理学电子电信机械工程一般工业技术更多>>

领域

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主题

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机构

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  • 1个中国科学院长...

资助

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传媒

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  • 1个光机电信息

地区

  • 4个吉林省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张立超
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 光学镀膜 极紫外 膜厚 镀膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丽萍
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 光学系统 面形 极紫外光刻 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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