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中国科学院科研装备研制项目(YZ200940)

作品数：2 被引量：8H指数：2
相关作者：夏洋李超波秦威李勇滔许晓平更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所昆明理工大学更多>>
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领域

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机构

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传媒

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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许晓平
供职机构：昆明理工大学信息工程与自动化学院
研究主题：光纤BRAGG光栅 光纤BRAGG 光栅 油浸式变压器 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李英杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：阻抗匹配网络 E类 全固态 全反射 射频电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦威
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇滔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵章琰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 等离子喷涂 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李勇涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：INP SI 键合技术 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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