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国防科技技术预先研究基金(0308XJ0100)
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相关作者:
马敏辉
赵文清
涂启志
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中国电子科技集团第五十八研究所
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马敏辉
供职机构:中国电子科技集团第五十八研究所
研究主题:CMOS工艺 ALQ3 NPB 集成电路制造 空穴阻挡层
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赵文清
供职机构:中国电子科技集团第五十八研究所
研究主题:CMOS工艺 集成电路制造 热载流子
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涂启志
供职机构:无锡市广播电视大学
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