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国家自然科学基金(90407020)

作品数：10 被引量：67H指数：5
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领域

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
苑伟政
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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乔大勇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
饶伏波
供职机构：西北工业大学
研究主题：MEMS 自适应光学系统 波前校正 自适应光学 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜澄宇
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 剪应力 高深宽比 产品数据管理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓莹
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
虞益挺
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李开成
供职机构：西北工业大学
研究主题：微机电系统 冲程 微变形镜 斥力 弹性梁
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马志波
供职机构：西北工业大学
研究主题：光纤F-P腔 高深宽比 微机电系统 硅 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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