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国家自然科学基金(60276019)

作品数：9 被引量：18H指数：2
相关作者：刘明陈宝钦谢常青徐秋霞龙世兵更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

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刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志钢
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：纳米电子器件 单电子器件 光学光刻技术 纳电子器件 共振隧穿器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康晓辉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：波带片 纳米压印 高分辨率 电子束 数据研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
易里成荣
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：纳米电子器件 单电子器件 光学光刻技术 纳电子器件 共振隧穿器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
涂德钰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微电子学 分子电子学 交叉线 电子束光刻 有机分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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