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国家自然科学基金(50407015)

作品数：13 被引量：21H指数：3
相关作者：牟宗信贾莉牟晓东董闯刘升光更多>>
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发文基金：国家自然科学基金辽宁省教育厅高等学校科学研究项目辽宁省教育厅资助项目更多>>
相关领域：理学一般工业技术航空宇航科学技术文化科学更多>>

领域

  • 17个一般工业技术
  • 16个理学
  • 11个金属学及工艺
  • 9个机械工程
  • 8个电子电信
  • 8个核科学技术
  • 8个文化科学
  • 7个电气工程
  • 6个化学工程
  • 6个航空宇航科学...
  • 5个自动化与计算...
  • 2个经济管理
  • 2个生物学
  • 2个冶金工程
  • 2个动力工程及工...
  • 2个建筑科学
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个医药卫生
  • 2个农业科学

主题

  • 17个磁控
  • 17个磁控溅射
  • 16个溅射
  • 15个非平衡磁控溅...
  • 14个等离子体
  • 13个光谱
  • 13个放电
  • 12个脉冲
  • 10个氮化
  • 10个形貌
  • 10个性能研究
  • 10个折射率
  • 10个孪生
  • 9个氮化铝
  • 9个气相沉积
  • 9个溅射沉积
  • 8个氮化硅
  • 8个氮化铝薄膜
  • 8个电工
  • 6个等离子体密度

机构

  • 17个大连理工大学
  • 3个中国科学院
  • 2个东北大学
  • 2个吉林大学
  • 2个教育部
  • 2个三束材料改性...
  • 2个三束材料改性...
  • 1个贵州大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个大连海事大学
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个江苏科技大学
  • 1个中国矿业大学
  • 1个厦门大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个中国科学院长...
  • 1个集成光电子学...
  • 1个大连理工常州...

资助

  • 17个国家自然科学...
  • 9个辽宁省教育厅...
  • 7个国家高技术研...
  • 7个辽宁省教育厅...
  • 7个中央高校基本...
  • 5个教育部留学回...
  • 5个高等学校科技...
  • 4个国家重点基础...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个辽宁省高校创...
  • 3个辽宁省教育厅...
  • 3个辽宁省自然科...
  • 2个国防科技技术...
  • 2个国家科技攻关...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个哈尔滨工业大...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个教育部“优秀...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个中央级公益性...

传媒

  • 13个真空科学与技...
  • 12个物理学报
  • 12个核聚变与等离...
  • 8个核技术
  • 8个材料研究与应...
  • 8个2008年全...
  • 7个2010全国...
  • 7个2010年全...
  • 6个航空制造技术
  • 6个真空
  • 6个材料科学与工...
  • 6个2007年航...
  • 6个TFC’09...
  • 5个功能材料
  • 5个稀有金属
  • 4个中国表面工程
  • 4个真空科学与技...
  • 4个第十四届全国...
  • 3个强激光与粒子...
  • 3个表面技术

地区

  • 17个辽宁省
共 17 条 记 录，以下是 1-10
牟宗信
供职机构：大连理工大学
研究主题：磁控溅射 等离子体 非平衡磁控溅射 离子束 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾莉
供职机构：大连理工大学
研究主题：固体氧化物燃料电池 磁控溅射 YSZ 非平衡磁控溅射 电解质薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牟晓东
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：非平衡磁控溅射 磁控溅射 高功率脉冲 折射率 放电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董闯
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：强流脉冲电子束 团簇 合金 ZR 电弧离子镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王春
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：非平衡磁控溅射 高功率脉冲 磁控溅射 CRNX薄膜 脉冲功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘升光
供职机构：大连理工大学
研究主题：磁控溅射 形貌 放电 分子动力学研究 分子动力学方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王振伟
供职机构：大连理工大学
研究主题：形貌 磁控溅射 磁控溅射沉积 折射率 氮化铝薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵华玉
供职机构：大连理工大学
研究主题：磁控溅射 磁控溅射沉积 磁控 磁场分布 非平衡磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘冰冰
供职机构：大连理工大学
研究主题：非平衡磁控溅射 高功率脉冲 界面态密度 CRNX薄膜 氢
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
公发权
供职机构：中国科学院大连化学物理研究所
研究主题：磁控溅射 表面形貌 磁控溅射沉积 氮化铝薄膜 折射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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