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化学工程联合国家重点实验室开放基金(YA0130304)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：李坤芳朱萍张新胜更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海大学华东理工大学更多>>
发文基金：化学工程联合国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：冶金工程更多>>

机构类别

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华东理工大学
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上海大学
研究主题：电影 高校 数值模拟 网络 SUB
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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
研究主题：半导体器件 半导体结构 栅极结构 刻蚀 介质层
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