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国家科技重大专项(2009ZX02302-004)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：陈相银刘明霍宗亮谢常青王永更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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