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国家高技术研究发展计划(2009AA043103)
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郎平
吴振广
荣伟彬
孙立宁
郭东
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
中央高校基本科研业务费专项资金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 全自动 半导体设备
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北京中电科电子装备有限公司
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哈尔滨工业大学
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