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中国科学院重大科研装备研制项目(YZ200840)
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杨仕谦
刘明
龙世兵
李德君
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安徽大学
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中国科学院重大科研装备研制项目
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研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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