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国家自然科学基金(30471544)

作品数：6 被引量：28H指数：2
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解放军第302医院
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北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题：MEMS 微机电系统 英文 硅 IEEE
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北京大学信息科学技术学院
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