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河北省教育厅自然科学基金(2009425)

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机构类别

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主题

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河北工业大学
研究主题:数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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