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国家教育部博士点基金(2010317110001)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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地区

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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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专用集成电路与系统国家重点实验室
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