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国家高技术研究发展计划(2007AA04Z335)
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褚金奎
孙建伟
张成
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国家高技术研究发展计划
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研究主题:化学机械抛光 表面粗糙度 硅片 数值模拟 微电铸
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大连理工大学机械工程学院微纳米技术及系统辽宁省重点实验室
研究主题:微流控芯片 微电铸 齿轮 机器视觉 无线传感器网络
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