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国家自然科学基金(60676035)

作品数：9 被引量：28H指数：4
相关作者：陈国鹰李雅静杜伟华苏明敏张静更多>>
相关机构：河北工业大学中国电子科技集团第十三研究所更多>>
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相关领域：电子电信电气工程动力工程及工程热物理更多>>

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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：芯片 半导体器件 衬底 GAN 校准
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河北工业大学电子信息工程学院
研究主题：化学机械抛光 CMP 去除速率 卷积神经网络 抛光液
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