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国家科技重大专项(2009ZX02302-04)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：杨仕谦刘明龙世兵李德君王琴更多>>
相关机构：安徽大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院重大科研装备研制项目国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

机构类别

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领域

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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安徽大学
研究主题：网络 高校 大学生 企业 实证研究
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
安徽大学电子信息工程学院
研究主题：矩量法 雷达散射截面 小波变换 仿真 电磁散射
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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