国家自然科学基金(10375058)
- 作品数：2 被引量：16H指数：2
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- NSRL的同步辐射X射线深度光刻技术
- LIGA技术是制作MEMS的主要方法之一,而同步辐射X射线深度光刻是LIGA技术中最为关键的技术。本文利用合肥光源LIGA线站对同步辐射深度X射线曝光及显影工艺进行研究,获得了深度X射线曝光和显影的稳定工艺条件,得到高质...
- 郭育华刘刚田扬超
- 关键词：LIGA技术
- 文献传递
- 热模压成形技术中的脱模研究
- 通过有限元模拟热模压成形中的脱模过程,分析了一般脱模工艺造成图形缺陷的原因;通过优化脱模工艺过程,采用低表面能的聚四氟乙烯作为抗粘剂,减小脱模时的摩擦,获得了高质量的模压复制品。
- 郭育华刘刚朱学林王俊阚娅田扬超
- 关键词：脱模有限元方法
- 文献传递
- 热模压成形技术中的脱模研究被引量：10
- 2005年
- 通过有限元模拟热模压成形中的脱模过程,分析了一般脱模工艺造成图形缺陷的原因;通过优化脱模工艺过程,采用低表面能的聚四氟乙烯作为抗粘剂,减小脱模时的摩擦,获得了高质量的模压复制品.
- 郭育华刘刚朱学林王俊阚娅田扬超
- 关键词：脱模有限元方法
- 国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用被引量：6
- 2008年
- LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数。详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出LIGA应用的一些展望。
- 刘刚田扬超
- 关键词：LIGA技术
