山东省自然科学基金(Y2001F10)
- 作品数：5 被引量：16H指数：3
- 相关作者：石玉龙毕京锋付强丁发柱更多>>
- 相关机构：青岛科技大学更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程一般工业技术理学更多>>
- 直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究被引量：4
- 2006年
- 通过在传统热丝化学气相沉积装置中引入直流等离子体,设计了直流等离子体一热丝化学气相沉积金刚石薄膜的设备,设备中既包括相互独立的灯丝电压和施加的偏压。通过调节偏压可以控制所形成的等离子体的偏流。在这一改进的系统中研究了金刚石薄膜形核和生长过程,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析了金刚石的样品,结果表明,施加偏压不仅能大大促进金刚石的形核密度(1010cm-2)、提高金刚石薄膜的生长速率,金刚石薄膜的取向也随机取向变为(111)定向生长。
- 丁发柱石玉龙
- 关键词：热丝化学气相沉积
- 等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石膜被引量：3
- 2004年
- 采用等离子辅助热丝化学气相沉积 (PAHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备。并运用X射线衍射 (XRD)和扫描电子显微镜 (SEM)测试手段对沉积的金刚石薄膜进行了观察分析。在甲烷与氢气体积比为 2∶98、基体温度为 80 0℃、等离子体偏压 40 0V、沉积气压 4kPa的沉积条件下可获得晶形完整的金刚石膜 ,其沉积速率可达 1 1 μm·h- 1 。
- 毕京锋石玉龙
- 关键词：热丝化学气相沉积等离子体金刚石薄膜甲烷
- 等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜
- 2004年
- 运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石 /碳化钛复合膜的沉积。实验条件 :甲烷流量与氢气流量比为 1∶5 0 ,基体温度 860℃ ,等离子体偏压 30 0V ,沉积气压 4kPa。运用扫描电子显微镜 (SEM )分别观察了沉积膜的表面和断面形貌 ;运用能量扩散电子谱 (EDX)对沉积的复合膜进行分析 ,观察到Ti元素峰和C元素峰 ;运用X射线衍射 (XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰。实验表明 。
- 毕京锋石玉龙付强
- 关键词：金刚石膜复合膜化学气相沉积
- 等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究被引量：4
- 2005年
- 采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.
- 毕京锋付强石玉龙
- 关键词：等离子热丝化学气相沉积金刚石薄膜
- 金刚石/碳化硅复合梯度膜制备研究被引量：6
- 2004年
- 采用微波等离子化学气相沉积(MW-PCVD)制备金刚石/碳化硅复合梯度膜.工作气体为H2,CH4和Si[CH3]4(四甲基硅烷,TMS),其中H2∶CH4=100∶0.6,Si[CH3]4为0％-O.05％,沉积压力为3300Pa,基体温度为700℃,微波功率为700W.基体为单晶硅,在沉积前用纳米金刚石颗粒处理.沉积后的样品经扫描电子显微镜(SEM),电子探针显微分析(EPMA),X射线能量损失分析(EDX)表明:沉积膜中的碳化硅含量是随Si[CH3]4流量的变化而改变.通过改变Si[CH3]4的流量可以制备金刚石/碳化硅复合梯度膜,且梯度膜中金刚石与复合膜过渡自然平滑.
- 石玉龙姜辛
- 关键词：微波等离子体化学气相沉积金刚石
