中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)
- 作品数：3 被引量：9H指数：1
- 相关作者：李国光刘涛谌雅琴宋国志王建东更多>>
- 相关机构：中国科学院微电子研究所电子科技大学合肥工业大学更多>>
- 发文基金：中国科学院科研装备研制项目国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法被引量：1
- 2013年
- 双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
- 崔高增刘涛李国光郭霞夏洋
- 关键词：光轴消色差
- 利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪被引量：7
- 2014年
- 光谱椭偏仪是常用的测量薄膜厚度及材料光学性质的仪器，其准确性主要由系统的校准过程确定。提出一种新的利用标准样品校准光谱椭偏仪的方法。该方法通过对多个已知厚度和已知材料特性的薄膜样品进行测量，利用测量得到的多个样品的傅里叶系数光谱与包含未知校准参数的理论光谱之间进行对比，通过最小二乘法拟合，回归求解出整个系统的未知校准参数，包括偏振器方位角，波片延迟，波片方位角和系统入射角等。将该方法的应用领域扩展到2001000nm的宽光谱区域，并通过测量3～13nm的SiO2／Si薄膜样品，实验验证了该方法的有效性，准确性达到0．194nm。该方法相对于传统校准方法更加简单、快速。
- 宋国志刘涛谌雅琴李国光王建东
- 关键词：校准最小二乘法光学常数
- 全反射式宽光谱成像椭偏仪被引量：1
- 2016年
- 本论文采用全反射式光学聚焦结构,通过独特的偏振控制技术,实现宽光谱、无色差成像椭偏仪的研制。在系统校准过程中采用多样品校准方法,利用校准得到的系统参数对待测样品进行成像椭偏分析,确定样品椭偏角ψ和s及薄膜厚度的空间分布。为测试自制成像椭偏仪的准确性,本文对3 nm^300 nm的Si O2/Si样品在200 nm^1 000 nm内多波长下进行成像椭偏测量。实验结果表明,Si O2薄膜厚度最大相对测量误差小于6%。
- 姜春光谌雅琴刘涛熊伟李国光纪峰
- 关键词：椭偏测量
