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国家自然科学基金(60701012)

作品数:5 被引量:7H指数:2
相关作者:杨春生张丛春侯捷丁桂甫石金川更多>>
相关机构:上海交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划上海-AM基金更多>>
相关领域:电子电信化学工程一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 5篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇化学工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 4篇溅射
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射
  • 3篇射频磁控
  • 3篇射频磁控溅射
  • 2篇衬底
  • 1篇电池
  • 1篇电性能
  • 1篇太阳电池
  • 1篇铜铟镓硒
  • 1篇钛酸锶
  • 1篇钛酸锶钡
  • 1篇钛酸锶钡薄膜
  • 1篇微结构
  • 1篇介电
  • 1篇介电性
  • 1篇介电性能
  • 1篇薄膜微结构
  • 1篇ORIENT...
  • 1篇SEM

机构

  • 4篇上海交通大学

作者

  • 4篇张丛春
  • 4篇杨春生
  • 3篇侯捷
  • 2篇丁桂甫
  • 2篇石金川
  • 1篇刘兴刚
  • 1篇钱群
  • 1篇饶瑞

传媒

  • 1篇上海交通大学...
  • 1篇功能材料
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇Journa...

年份

  • 2篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2008
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
Si衬底上RF磁控溅射MgO薄膜的研究被引量:1
2010年
采用射频磁控溅射(rf magnetron sputte-ring)在Si(100)衬底上生长得到MgO薄膜。将在不同气压和Ar分压条件下得到的样品在氧气氛围下1000℃退火并进行X射线衍射(XRD)分析,结果表明,溅射总气压和O2分压影响MgO薄膜的择优取向,控制总气压和Ar分压可以控制MgO薄膜的晶格取向,Si衬底取向也对薄膜的择优取向产生影响。通过扫描电子显微镜(SEM)分析发现,MgO薄膜经过高温退火形成结晶并产生了表面裂纹。
侯捷张丛春杨春生丁桂甫
关键词:射频磁控溅射MGOXRDSEM
Effect of LaNiO_3 Interlayer on the Dielectric Properties of Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 Thin Film on Si Substrate
2009年
In this study,(100)-oriented growth of Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3(BST)/LaNiO_3(LNO) stacks was obtained on Pt(111)/SiO_2/Si substrates by r.f.magnetron sputtering.The orientation of the subsequently deposited Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3 thin film was strongly affected by the LNO under layer,and the BST thin film deposited on the(100)LNO-coated Si substrate was also found to have a significant(100)-oriented texture.Effects of LNO interlayer on the dielectric properties of BST thin films were investigated.As a result,the tunability of BST thin film was greatly improved with the insertion of(100)-oriented LNO under layer with proper thickness.
张丛春杨春生石金川饶瑞
关键词:ORIENTATION
溅射工艺对LaNiO_3薄膜结构的影响被引量:2
2008年
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了LaNiO3薄膜。通过原位加热或后续热处理使薄膜晶化。借助X-ray衍射分析、电感耦合等离子体发射光谱、原子力显微镜等手段研究了溅射工艺对薄膜显微结构的影响。实验结果表明,溅射时是否加热对薄膜的结晶取向影响很大,而氧分压则影响La/Ni比。衬底不加热时,通过后续热处理得到多晶的随机取向薄膜,而当溅射时原位加热300℃,则得到有明显(100)择优取向的薄膜。
张丛春石金川刘兴刚杨春生
关键词:沉积温度
LaNiO_3缓冲层对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜微结构和介电性能的影响
2009年
利用射频磁控溅射法,在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.采用X-ray衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM),研究了两种衬底上BST薄膜样品的结晶性和表面形貌.结果表明:BST薄膜材料均为钙钛矿相,直接生长在硅衬底上的BST薄膜无择优取向,晶粒尺寸为20-30 nm,而LaNiO3缓冲层上生长的BST薄膜则为(100)择优取向,晶粒尺寸约为150-200 nm.室温下测试了薄膜的介电性能.研究结果表明,LNO缓冲层显著提高了BST薄膜的介电常数和介电可调率.
石金川张丛春侯捷杨春生饶瑞
关键词:钛酸锶钡薄膜射频磁控溅射介电性能
玻璃衬底上RF磁控溅射CIGS薄膜的研究被引量:4
2010年
采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜。讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响。通过能谱(EDS)测试证明了溅射的CIGS薄膜Ga组分比符合高效吸收层的要求,通过X射线衍射(XRD)与扫描电子显微镜(SEM)测试,证明了衬底加热溅射、溅射后450℃空气退火可以有效提高CIGS薄膜与衬底的结合并提高晶化程度。通过四探针法电阻率测试证明了低气压条件下溅射、溅射后退火可以有效降低CIGS的电阻率,通过透射光谱分析证明了CIGS薄膜对可见光有高吸收效率,适合作为太阳电池的高效吸收层。
钱群张丛春杨春生丁桂甫侯捷
关键词:太阳电池射频磁控溅射
共1页<1>
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