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表面应力测量SOI压阻悬臂梁传感器设计与优化被引量：1: 2006年; 研究了基于SOI(silicononinsulator)工艺的压阻悬臂梁传感器的静态和动态特性,推导了其用于表面应力测量时灵敏度和分辨率的表达式.分析了各种参数对性能的影响,提出了参数设计与优化的流程.得到了一套灵敏度为-1·8×10-3m/N,分辨率为8·5×10-5N/m,弹性系数为0·023N/m,谐振频率为1·3×104Hz的设计参数.; 庄志伟王喆垚刘理天; 关键词：MEMS 压阻 SOI 悬臂梁传感器

用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器被引量：2: 2006年; 介质上电润湿(EWOD)是指通过在介质层下面的微电极阵列上施加电势来控制液体和固体介质层表面之间的润湿特性.研制出了EWOD液滴产生器的原型.它采用“三明治”结构:液体被夹在上下电极之间;下极板用硅作为微电极阵列衬底、低压化学气相淀积(LPCVD)制备的Si3N4薄膜作为介质层,感应耦合等离子体化学气相淀积(ICP-CVD)制备的碳氟聚合物薄膜作为厌水层;上极板是覆盖有厌水层的透明导电玻璃板.为了得到产生液滴所需要的最小电压,对液滴产生的过程和临界条件进行了理论分析.在35V电压下实现了包围在硅油中的去离子水液滴的产生.; 曾雪锋岳瑞峰吴建刚胡欢董良王喆垚何枫刘理天; 关键词：微全分析系统介质上电润湿

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国家自然科学基金(60401009)