公共文化服务平台

共 2 条记录，以下是 1-2

全选清除导出

排序方式：

基于弹性体模型的微机械陀螺检测电容解析方法被引量：6: 2006年; 以体微机械加工技术制备的音叉式振动型微机械陀螺为研究对象,以提高其检测电容的解析精度为目的,利用多自由度动态有限元解析理论,首次提出了基于弹性体模型的检测电容解析法。实现了考虑制备工艺、加工手段等引起的微陀螺结构缺陷造成的性能、品质变异仿真,以及面向微陀螺最终输出性能———检测电容的动力学特性与检测特性的分析。此方法基本解决了刚体结构微机械陀螺简化模型的低精度缺陷问题,为实现其多物理场工作环境的表征、结构拓扑形态的设计、复杂动态性能的仿真等工程化目标提供了可能。; 姜涛王安麟张颖焦继伟; 关键词：微机械陀螺多自由度数学模型

Cu/Sn等温凝固技术在MEMS气密封装中的应用被引量：1: 2007年; 研究了Cu／Sn等温凝固键合技术在MEMS气密性封装中的应用。设计了等温凝固键合多层材料的结构和密封环图形，优化了键合工艺，对影响气密性的因素（如密封环尺寸等）进行了分析。在350。C实现了良好的键合效果，其最大剪切强度达到27．7MPa，漏率～2×10^-4Pa·cm^3／s He，完全可以满足美国军方标准（MIL—STD-883E）的要求，验证了Cu／Sn等温凝固键合技术在MEMS气密封装中的适用性。; 李莉焦继伟王立春吴艳红罗乐王跃林; 关键词：等温凝固气密封装晶圆级封装

全选清除导出

共1页<1>

国家高技术研究发展计划(2005AA404020)