国家科技重大专项(2012ZX02701001-005)
- 作品数：2 被引量：10H指数：1
- 相关作者：李艳秋李建慧郑猛张雪冰郭学佳更多>>
- 相关机构：北京理工大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 掩模衍射频谱轴向分量对光刻成像性能的影响被引量：1
- 2013年
- 传统三维光刻矢量成像模型中将投影系统物方电磁场表示为二维形式,实现方式分为两种:采用局部坐标和忽略掩模衍射频谱的轴向分量。后者在浸没式光刻系统仿真中的适用性需要进一步分析。简述了忽略掩模频谱轴向分量的矢量成像模型和引入该分量的全光路三维光刻矢量成像模型,利用这两种模型和商业仿真软件,研究了掩模衍射频谱轴向分量对光刻胶中成像特征尺寸的影响并对结果进行了讨论。研究结果表明,相干照明和部分相干照明条件下,掩模衍射频谱轴向分量对光刻成像的影响随着数值孔径的变化趋势存在较大差异。这说明相干照明下的分析结论并不适用于部分相干照明条件,且只有全光路三维矢量成像模型才能满足浸没式高分辨光刻仿真的要求。
- 董立松李艳秋郭学佳
- 关键词：成像系统物理光学浸没式光刻
- 旋转波片法成像斯托克斯偏振仪误差标定和补偿被引量：9
- 2015年
- 旋转波片法成像斯托克斯偏振仪由可旋转的1/4波片、固定的检偏器、成像光学器件和光电探测器构成,1/4波片的快轴方位角误差和相位延迟量误差是旋转波片法成像斯托克斯偏振仪的主要误差源,对其进行误差标定和补偿,可有效提高测量精度。为此,通过研究旋转波片测量法和傅里叶分析法,推导出入射光束斯托克斯参量与1/4波片参数误差之间的关系式,从而提出一种误差标定新方法,该方法以水平线偏振光作为标准参考光,对标准参考光进行测量,计算得到1/4波片的参数误差,并将其代入相应理论公式中,从而实现误差补偿。实验结果表明,通过误差标定和补偿,成像斯托克斯偏振仪的平均测量精度由原来的5.12%提高至1.78%,验证了该方法的有效性。
- 张雪冰李艳秋郑猛李建慧
- 关键词：斯托克斯参量
