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国家科技重大专项(2012ZX02701001-005)
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李艳秋
李建慧
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郭学佳
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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李建慧
供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题:成像 1/4波片 斯托克斯参量 MUELLER矩阵
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张雪冰
供职机构:北京理工大学
研究主题:斯托克斯参量 误差补偿 偏振态 偏振光 成像
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郭学佳
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻 评价函数 光刻机 焦深 下降法
发表作品
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郑猛
供职机构:北京理工大学光电学院
研究主题:成像 1/4波片 斯托克斯参量 衍射 板结构
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董立松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 矢量 成像模型 光源 掩模
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