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国家科技重大专项(2012ZX02701001-005)

作品数：2 被引量：10H指数：1
相关作者：李艳秋李建慧郑猛张雪冰郭学佳更多>>
相关机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

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机构

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地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李建慧
供职机构：北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题：成像 1/4波片 斯托克斯参量 MUELLER矩阵
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张雪冰
供职机构：北京理工大学
研究主题：斯托克斯参量 误差补偿 偏振态 偏振光 成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭学佳
供职机构：北京理工大学
研究主题：光刻 评价函数 光刻机 焦深 下降法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑猛
供职机构：北京理工大学光电学院
研究主题：成像 1/4波片 斯托克斯参量 衍射 板结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 成像模型 光源 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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