段英丽
作品数： 2被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

陈颖
作品数：13被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
韦亚一
作品数：196被引量：34H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
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