-
韦亚一
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 张利斌
- 作品数：85被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：光刻 掩模 光源 线条 套刻
- 董立松
- 作品数：92被引量：17H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：光刻 矢量 成像模型 光源 掩模
- 粟雅娟
- 作品数：64被引量：22H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
- 何建芳
- 作品数：18被引量：3H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
- 陈颖
- 作品数：13被引量：4H指数：1
- 供职机构：中国科学院微电子研究所
- 研究主题：版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
