-
陈晨
-
-
- 所属机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 杨洪星
- 作品数:100被引量:101H指数:6
- 供职机构:中国电子科技集团公司
- 研究主题:锗 单晶片 抛光片 晶片 表面粗糙度
- 王云彪
- 作品数:20被引量:38H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题:抛光片 锗 表面粗糙度 超薄 磷化铟
- 何远东
- 作品数:9被引量:17H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题:锗 翘曲度 表面粗糙度 单晶 清洗液
- 张伟才
- 作品数:26被引量:44H指数:4
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题:锗 抛光片 化学机械抛光 机械强度 IPA
- 杨静
- 作品数:12被引量:11H指数:2
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
- 研究主题:化学腐蚀 MEMS 研磨 测厚 硅